| 研究について |
ナノメートル・サブナノメートルレベルの世界に誇れる
超精密位置決め技術を確立しつつあります
- 2001年〜2004年
0.2nm分解能の位置決め技術，1nm分解能のシリコン加工技術確立
（経済産業省地域新生コンソーシアム）
- 2005年
パルスモータとボールねじによる1nm分解能超精密位置決め装置完成
（シグマテック株式会社との共同研究）
- 2009年
新型リニアモータ（トンネルアクチュエータ）による0.2nm分解能超精密位置決め達成
（株式会社日立製作所日立研究所との共同研究）
- 2010年〜2011年
ペルチェモジュールを用いた熱変形ドリフト低減の位置決め装置開発中
（文部科学省科研費）
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