イオンミリング装置
| 仕様 | |
| 型名 | EM TIC020 (ライカ) |
| イオンビーム | トリプルイオンビーム |
| ミリング電圧 | 1～8 kV |
| イオン源電流 | 0～3 mA |
先端機器分析センター
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| 仕様 | |
| 型名 | EM TIC020 (ライカ) |
| イオンビーム | トリプルイオンビーム |
| ミリング電圧 | 1～8 kV |
| イオン源電流 | 0～3 mA |