電子線マイクロアナライザ
本装置は、電子線を試料に照射し、発生する特性X線を用いて元素の定性および定量分析を行う電子線マイクロアナライザです。波長分散型分光器（WDS）を搭載しており、高精度な元素マッピングや微量成分の精密分析が可能です。
| 仕様 | |
| 型名 | EPMA-1720H (CeB6フィラメント仕様) (島津製作所) |
| 加速電圧 | 0.1 ~ 30 kV |
| 照射電流 | 1 pA ~ 1 μA |
| 分解能, 倍率 | 6 nm, 40 ~ 400000 倍 |
| 分光器 | 5チャンネル, 分析元素 : B ~ U |
| 分光結晶 | LiF × 2, PET, ADP, RAP × 2, PbST, LSA120, LSA70 |
| 付属装置 | ・カソードルミネッセンス分光装置 (波長範囲 : 200 ~ 900 nm) ・トレースマッピング・ライン分析機能 (高さ補正) ・カーボンコーター, 臨界点乾燥装置, ミクロトーム |