走査プローブ顕微鏡

本装置は、試料表面の微細な凹凸や物性をナノスケールで可視化できる、走査プローブ顕微鏡です。探針によって表面を高精度に走査し、非破壊かつ高分解能での観察を可能とします。AFMをはじめとした多様な測定モードに対応し、ポリマーや薄膜、半導体材料など広範な分野での応用が可能です。
| 仕様 | |
| 型名 | 環境制御型E-sweep (日立ハイテクサイエンス) |
| 走査範囲 | 150 μm × 150 μm, 20 μm × 20 μm |
| 測定モード | AFM, DFM, MFM |
| 付属装置 | 環境制御ユニット , 到達真空度: 8.1 × 10-4 Pa |