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先端機器分析センター

走査プローブ顕微鏡


本装置は、試料表面の微細な凹凸や物性をナノスケールで可視化できる、走査プローブ顕微鏡です。探針によって表面を高精度に走査し、非破壊かつ高分解能での観察を可能とします。AFMをはじめとした多様な測定モードに対応し、ポリマーや薄膜、半導体材料など広範な分野での応用が可能です。
仕様
型名 環境制御型E-sweep
(日立ハイテクサイエンス)
走査範囲 150 μm × 150 μm, 20 μm × 20 μm
測定モード AFM, DFM, MFM
付属装置 環境制御ユニット , 到達真空度: 8.1 × 10-4 Pa