走査型電子顕微鏡
本装置は、試料の表面形状や微細構造を高倍率かつ高分解能で観察可能な、走査型電子顕微鏡です。微細加工部品や粉末、薄膜の表面観察など幅広い用途に対応しています。二次電子像および反射電子像の取得に加え、エネルギー分散型X線分析装置（EDS）を搭載しており、観察と同時に元素分析を行うことができます。導電性のない材料についても、低真空モードで観察することで、前処理無しで観察することが可能です。
| 仕様 | |
| 型名 | JSM-IT100 (日本電子) |
| 加速電圧 | 0.5 ~ 20 kV |
| 分解能, 倍率 | 3 nm, 5 ~ 300000 倍 |
| 観察像 | 二次電子像, 反射電子像 |
| 付属装置 | ・エネルギー分散型分析装置 ・低真空対応: 10 ~ 100 Pa ・温度可変装置 ・チャンバースコープ |