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先端機器分析センター

多目的X線回折装置


本装置は、試料にX線を照射し、回折パターンを測定することで物質の結晶構造を分析するX線回折装置です。粉末試料の定性分析はもちろん、薄膜・バルク材料の結晶性評価、残留応力・格子定数測定、結晶方位解析など、さまざまな測定モードに対応しています。
仕様
型名 SmartLab
(リガク)
X線発生部 定格出力 3kW, Cuターゲット
入射光学系 集中法, 平行法
受光光学系 ソーラースリット, Ge2結晶
検出器 シンチレーションカウンタ, 一次元半導体検出器
測定の種類 2θ-θ, 薄膜法, ロッキングカーブ, 極点, 反射率, 小角散乱など
付属装置 オートサンプラー、温度制御装置